Equipment and process control
R2R 제어
run-to-run control
DraftVersion 0.1.1Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 앞 로트나 앞 웨이퍼의 측정 결과를 보고 다음 처리의 레시피 값을 조금씩 바꾸는 제어 방식입니다.
- Example of use
- R2R 제어 기록에는 앞 로트의 계측값과 그것으로 계산한 다음 로트의 보정값이 쌍으로 남습니다.
- Synonyms
- Run-to-Run · R2R
- English
- run-to-run control
- Broader term
- APCadvanced process control
- Related terms
- 레시피recipe오버레이overlay
- Added in version
- 0.1.0
- Permanent URI
https://ontocraft.com/terms/run-to-run-control
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “R2R 제어” (run-to-run control), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/run-to-run-control, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text