Front-end wafer processing

이온주입

ion implantation

Definition(Written in Korean)

불순물 원소를 이온으로 만들어 전기장으로 가속해 웨이퍼에 박아 넣는 공정입니다. 넣는 양과 깊이를 정밀하게 맞출 수 있습니다.

Synonyms

임플란트 · IMP

English

ion implantation

Broader term

전공정front-end process

Related terms

열처리annealMOSFETmetal-oxide-semiconductor field-effect transistor감광액photoresist

Added in version

0.1.0

Permanent URI

https://ontocraft.com/terms/ion-implantation

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Citation

OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “이온주입” (ion implantation), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/ion-implantation, CC BY 4.0.