Quality and metrology
오버레이
overlay
DraftVersion 0.1.1Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 새로 찍은 층의 무늬가 아래 층의 무늬와 어긋난 정도입니다. X와 Y 방향으로 나눠 재며, 어느 층을 기준으로 정렬했는지 함께 알아야 원인을 찾을 수 있습니다.
- Example of use
- 노광 뒤 계측 결과에는 샷과 지점마다 오버레이 X·Y 값이 남고, 웨이퍼 단위 평균과 3σ가 함께 기록됩니다.
- Synonyms
- OVL · 층간 정렬 오차
- English
- overlay
- Broader term
- 계측metrology
- Added in version
- 0.1.0
- Permanent URI
https://ontocraft.com/terms/overlay-error
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “오버레이” (overlay), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/overlay-error, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text