Fab operations
재작업
rework
DraftVersion 0.2.0Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 검사에서 기준을 벗어난 웨이퍼의 공정을 되돌려 다시 하는 일입니다. 반도체에서는 주로 포토 공정에서 감광액을 벗기고 노광을 다시 하며, 되돌릴 수 없는 식각 뒤에는 할 수 없으므로 판정 시점이 중요합니다.
- Synonyms
- 리워크 · 포토 리워크
- English
- rework
- Related terms
- 포토 공정photolithography오버레이overlay규격 이탈out of spec
- Added in version
- 0.2.0
- Permanent URI
https://w3id.org/ontocraft/terms/wafer-rework
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “재작업” (rework), version 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/wafer-rework, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text