Front-end wafer processing
습식 식각
wet etching
DraftVersion 0.2.0Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 약액에 웨이퍼를 담그거나 뿌려 막을 녹여 내는 식각입니다. 모든 방향으로 고르게 깎이는 성질이 있어 미세 패턴보다는 막 전체 제거나 세정에 가까운 단계에 쓰고, 미세 패턴은 건식 식각이 맡습니다.
- Synonyms
- 웨트 에치
- English
- wet etching
- Broader term
- 식각etching
- Added in version
- 0.2.0
- Permanent URI
https://w3id.org/ontocraft/terms/wet-etching
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “습식 식각” (wet etching), version 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/wet-etching, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text