Front-end wafer processing
건식 식각
dry etching
DraftVersion 0.1.1Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 플라스마의 이온과 라디칼로 막을 깎는 식각입니다. 한 방향으로 곧게 깎을 수 있어 미세 무늬에 씁니다.
- Synonyms
- 플라스마 식각 · 드라이 에치
- English
- dry etching
- Broader term
- 식각etching
- Related terms
- 챔버process chamber식각etching공정 가스process gas
- Added in version
- 0.1.0
- Permanent URI
https://ontocraft.com/terms/dry-etching
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “건식 식각” (dry etching), version 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/dry-etching, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text