전공정

BEOL

back end of line

정의

전공정 가운데 소자 위에 금속 배선과 절연막을 쌓는 뒤쪽 단계입니다. 패키징을 뜻하는 후공정과 다릅니다.

동의어

배선 공정

영어

back end of line

상위 용어

전공정front-end process

관련 용어

후공정back-end process전공정front-end process증착thin film depositionCMPchemical mechanical polishing

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/beol

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「BEOL」(back end of line), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/beol, CC BY 4.0.