전공정

전공정

front-end process

정의

빈 웨이퍼 위에 소자와 배선을 만드는 공정 전체입니다. 산화, 포토, 식각, 증착, 이온주입, 연마, 세정을 수백 단계 되풀이합니다.

동의어

웨이퍼 공정 · 팹 공정 · FAB 공정

영어

front-end process

하위 용어

BEOLback end of line산화thermal oxidation확산 공정diffusion process이온주입ion implantation열처리anneal포토 공정photolithography식각etching증착thin film depositionCMPchemical mechanical polishing세정wafer cleaning

관련 용어

후공정back-end process공정 흐름process flow

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/front-end-process

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「전공정」(front-end process), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/front-end-process, CC BY 4.0.