팹 유틸리티

공정 케미컬

process chemical

정의

세정, 습식 식각, 연마, 현상에 쓰는 액체 화학 약품입니다. 기체로 들어가는 공정 가스와 따로 공급하고 관리하며, 쓰고 난 약품은 공정 폐수로 나눠 모읍니다.

동의어

케미컬 · 약액

영어

process chemical

관련 용어

세정wafer cleaningCMPchemical mechanical polishing공정 폐수fab wastewater

대응 표준

화학물질관리법

표준의 이름만 적었습니다. 표준 원문과 대조하지 않았으므로 정의가 표준과 같다는 뜻이 아닙니다.

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/process-chemical

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「공정 케미컬」(process chemical), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/process-chemical, CC BY 4.0.