전공정

확산 공정

diffusion process

정의

여러 장의 웨이퍼를 고온 로에 넣어 산화, 불순물 확산, 열처리를 하는 공정을 묶어 부르는 말입니다.

동의어

확산 · 퍼니스 공정

영어

diffusion process

상위 용어

전공정front-end process

관련 용어

산화thermal oxidation열처리anneal

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/diffusion-process

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「확산 공정」(diffusion process), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/diffusion-process, CC BY 4.0.