전공정

산화

thermal oxidation

정의

높은 온도에서 실리콘 표면을 산소나 수증기와 반응시켜 산화막을 기르는 공정입니다.

동의어

산화 공정 · 옥시데이션

영어

thermal oxidation

상위 용어

전공정front-end process

관련 용어

확산 공정diffusion process막 두께film thickness

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/thermal-oxidation

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「산화」(thermal oxidation), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/thermal-oxidation, CC BY 4.0.