전공정
열처리
anneal
초안버전 0.1.12026-10-09 갱신
- 정의
- 웨이퍼를 가열해 주입한 불순물을 활성화하거나 막의 결함을 회복시키는 공정입니다.
- 동의어
- 어닐 · 어닐링
- 영어
- anneal
- 상위 용어
- 전공정front-end process
- 처음 들어온 버전
- 0.1.0
- 고정 주소
https://ontocraft.com/terms/wafer-anneal
이 용어의 JSON-LD- 인용
- OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「열처리」(anneal), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/wafer-anneal, CC BY 4.0.
CC BY 4.0, 출처: OntoCraft 한국 산업 용어 등록부 · 라이선스 전문