장비와 공정 제어

종료점 검출

endpoint detection

정의

식각이나 CMP를 하는 동안 플라스마 발광이나 표면 반사 같은 신호의 변화를 보고 목표 막이 다 깎인 시점을 찾아 공정을 멈추는 기능입니다. 정해진 시간만큼 처리하는 방식보다 막 두께 차이에 덜 흔들립니다.

동의어

EPD · 엔드포인트

영어

endpoint detection

관련 용어

건식 식각dry etchingCMPchemical mechanical polishing트레이스 데이터equipment trace data

처음 들어온 버전

0.2.0

고정 주소

https://w3id.org/ontocraft/terms/endpoint-detection

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「종료점 검출」(endpoint detection), 버전 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/endpoint-detection, CC BY 4.0.