전공정

건식 식각

dry etching

정의

플라스마의 이온과 라디칼로 막을 깎는 식각입니다. 한 방향으로 곧게 깎을 수 있어 미세 무늬에 씁니다.

동의어

플라스마 식각 · 드라이 에치

영어

dry etching

상위 용어

식각etching

관련 용어

챔버process chamber식각etching공정 가스process gas

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/dry-etching

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「건식 식각」(dry etching), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/dry-etching, CC BY 4.0.