전공정

이온주입

ion implantation

정의

불순물 원소를 이온으로 만들어 전기장으로 가속해 웨이퍼에 박아 넣는 공정입니다. 넣는 양과 깊이를 정밀하게 맞출 수 있습니다.

동의어

임플란트 · IMP

영어

ion implantation

상위 용어

전공정front-end process

관련 용어

열처리annealMOSFETmetal-oxide-semiconductor field-effect transistor감광액photoresist

처음 들어온 버전

0.1.0

고정 주소

https://ontocraft.com/terms/ion-implantation

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「이온주입」(ion implantation), 버전 0.1.1, https://ontocraft.com/terms/ion-implantation, CC BY 4.0.