전공정

FEOL

front end of line

정의

전공정 가운데 실리콘 기판 위에 트랜지스터 같은 소자를 만드는 앞부분입니다. 소자 사이를 금속 배선으로 잇는 BEOL과 짝을 이루며, 둘 다 패키징을 뜻하는 후공정과는 다릅니다.

동의어

트랜지스터 형성 공정 · 프론트 엔드 오브 라인

영어

front end of line

상위 용어

전공정front-end process

관련 용어

BEOLback end of line이온주입ion implantation산화thermal oxidation

처음 들어온 버전

0.2.0

고정 주소

https://w3id.org/ontocraft/terms/feol

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「FEOL」(front end of line), 버전 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/feol, CC BY 4.0.