전공정

PVD

physical vapor deposition

정의

고체 재료를 스퍼터링이나 증발로 떼어 내 웨이퍼 위에 막으로 쌓는 증착 방식입니다. 화학 반응으로 막을 만드는 CVD와 달리 재료를 물리적으로 옮기며, 주로 배선과 장벽층 같은 금속막에 씁니다.

동의어

물리 기상 증착 · 스퍼터링

영어

physical vapor deposition

상위 용어

증착thin film deposition

관련 용어

CVDchemical vapor depositionBEOLback end of line증착thin film deposition

처음 들어온 버전

0.2.0

고정 주소

https://w3id.org/ontocraft/terms/pvd

이 용어의 JSON-LD

인용

OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「PVD」(physical vapor deposition), 버전 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/pvd, CC BY 4.0.