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공정 냉각수
process cooling water
DraftVersion 0.2.0Updated 2026-10-09
- Definition(Written in Korean)
- 공정 장비의 챔버, 전원부, 펌프에서 나는 열을 빼기 위해 돌리는 냉각수입니다. 웨이퍼에 닿는 초순수와 달리 장비 안을 순환하며, 공급 온도와 유량이 흔들리면 장비 알람과 공정 변동으로 이어집니다.
- Synonyms
- PCW · 장비 냉각수
- English
- process cooling water
- Related terms
- 서브팹sub-fab초순수ultrapure water공정 장비process tool
- Added in version
- 0.2.0
- Permanent URI
https://w3id.org/ontocraft/terms/process-cooling-water
JSON-LD for this term- Citation
- OntoCraft Korean Industrial Term Registry, “공정 냉각수” (process cooling water), version 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/process-cooling-water, CC BY 4.0.
CC BY 4.0. Source: OntoCraft Korean Industrial Term Registry · License text