전공정
습식 식각
wet etching
초안버전 0.2.02026-10-09 갱신
- 정의
- 약액에 웨이퍼를 담그거나 뿌려 막을 녹여 내는 식각입니다. 모든 방향으로 고르게 깎이는 성질이 있어 미세 패턴보다는 막 전체 제거나 세정에 가까운 단계에 쓰고, 미세 패턴은 건식 식각이 맡습니다.
- 동의어
- 웨트 에치
- 영어
- wet etching
- 상위 용어
- 식각etching
- 처음 들어온 버전
- 0.2.0
- 고정 주소
https://w3id.org/ontocraft/terms/wet-etching
이 용어의 JSON-LD- 인용
- OntoCraft 한국 산업 용어 등록부, 「습식 식각」(wet etching), 버전 0.2.0, https://w3id.org/ontocraft/terms/wet-etching, CC BY 4.0.
CC BY 4.0, 출처: OntoCraft 한국 산업 용어 등록부 · 라이선스 전문